下面是5種常用的壓力傳感器的原理及應(yīng)用
1 、陶瓷壓力傳感器原理及應(yīng)用
抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋 ( 閉橋 ) ,由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據(jù)壓力量程的不同標定為 2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V 等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補償 0 ~ 70 ℃ ,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達 -40 ~ 135 ℃ ,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度 >2kV ,輸出信號強,長期穩(wěn)定性好。高特性,低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向,在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢,在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴散硅壓力傳感器。
2 、應(yīng)變片壓力傳感器原理與應(yīng)用
力學(xué)傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用較為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類傳感器。
在了解壓阻式力傳感器時,我們首先認識一下電阻應(yīng)變片這種元件。電阻應(yīng)變片是一種將被測件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號的敏感器件。它是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用較多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上,當基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時,電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變,從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時產(chǎn)生的阻值變化通常較小,一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋,并通過后續(xù)的儀表放大器進行放大,再傳輸給處理電路(通常是 A/D 轉(zhuǎn)換和 CPU )顯示或執(zhí)行機構(gòu)。電阻應(yīng)變片的工作原理 金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示: 式中: ρ—— 金屬導(dǎo)體的電阻率( Ω·cm2/m ) S—— 導(dǎo)體的截面積( cm2 ) L—— 導(dǎo)體的長度( m ) 我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,當金屬絲受外力作用時,其長度和截面積都會發(fā)生變化,從上式中可很容易看出,其電阻值即會發(fā)生改變,假如金屬絲受外力作用而伸長時,其長度增加,而截面積減少,電阻值便會增大。當金屬絲受外力作用而壓縮時,長度減小而截面增加,電阻值則會減小。只要測出加在電阻的變化(通常是測量電阻兩端的電壓),即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情
3 、擴散硅壓力傳感器原理及應(yīng)用
工作原理 被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標準測量信號。
4 、藍寶石壓力傳感器原理與應(yīng)用
利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅 - 藍寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有無與倫比的計量特性。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍寶石比硅要堅固,硬度更高,不怕形變;藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性( 1000 OC 以內(nèi)),因此,利用硅 - 藍寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性極強;另外,硅 - 藍寶石半導(dǎo)體敏感元件,無 p-n 漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復(fù)性,確保了高成品率。
用硅 - 藍寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在最惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。
表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅 - 藍寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發(fā)生變化,變化的幅度與被測壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,并將應(yīng)變電橋的失衡信號轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號輸出( 0-5 , 4-20mA 或 0-5V )。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,從而達到壓力測量的目的。
5 、壓電壓力傳感器原理與應(yīng)用
壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質(zhì)完全消失(這個高溫就是所謂的 “ 居里點 ” )。由于隨著應(yīng)力的變化電場變化微小(也就說壓電系數(shù)比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫和相當高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。
現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,比如現(xiàn)在的壓電陶瓷,包括鈦酸鋇壓電陶瓷、 PZT 、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,因為經(jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應(yīng)力。
壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來測量發(fā)動機內(nèi)部燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用于軍事工業(yè),例如用它來測量槍炮子彈在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來測量大的壓力,也可以用來測量微小的壓力。
壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測量中,比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的,因為測量動態(tài)壓力是如此普遍,所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛
陶瓷壓力傳感器、應(yīng)變片壓力傳感器、擴散硅壓力傳感器、藍寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器
壓力傳感器是工業(yè)實踐過程中常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)環(huán)境,涉及水利水電、智能建筑、生產(chǎn)自控等眾多行業(yè)。
稱重傳感器是一種將質(zhì)量信號轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y量的電信號輸出的裝置,它的性能在很大程度上決定了電子衡器的精度和穩(wěn)定性,因此被喻為衡器的心臟。1.光纖傳感器結(jié)構(gòu)原理
以電為基礎(chǔ)的傳統(tǒng)傳感器是一種把測量的狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y的電信號的裝置。它的電源、敏感元件、信號接收和處理系統(tǒng)以及信息傳輸均用金屬導(dǎo)線連接。
光纖傳感器則是一種把被測量的狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y的光信號的裝置。由光發(fā)送器、敏感元件(光纖或非光纖的)、光接收器、信號處理系統(tǒng)以及光纖構(gòu)成。
由光發(fā)送器發(fā)出的光經(jīng)源光纖引導(dǎo)至敏感元件。
這時,光的某一性質(zhì)受到被測量的調(diào)制,已調(diào)光經(jīng)接收光纖耦合到光接收器,使光信號變?yōu)殡娦盘?,最后?jīng)信號處理得到所期待的被測量。
可見,光纖傳感器與以電為基礎(chǔ)的傳統(tǒng)傳感器相比較,在測量原理上有本質(zhì)的差別。傳統(tǒng)傳感器是以機電測量為基礎(chǔ),而光纖傳感器則以光學(xué)測量為基礎(chǔ)。
2.光纖傳感器的分類:
注:MM多模;SM單模;PM偏振保持;a,b,c功能型、非功能型、拾光型
3、根據(jù)光纖在傳感器中的作用,光纖傳感器分為功能型、非功能型和拾光型三大類。
1)功能型(全光纖型)光纖傳感器
利用對外界信息具有造紙廠能力和檢測能力的光纖(或特殊光纖)作傳感元件。將“傳”和“感”合為一體的傳感器。
光纖不僅起傳光作用,而且還利用光纖在外界因素(彎曲、相變)的作用下,其光學(xué)特性(光強、相位、偏振態(tài)等)的變化來實現(xiàn)“傳”和“感”的功能。因此,傳感器中光纖是連續(xù)的。由于光纖連續(xù),增加其長度,可提高靈敏度。
1)非功能型(或稱傳光型)光纖傳感器
光纖僅起導(dǎo)光作用,只“傳”不“感”,對外界信息的“感覺”功能依靠其他物理性質(zhì)的功能元件完成。光纖不連續(xù)。
此類光纖傳感器無需特殊光纖及其他特殊技術(shù),比較容易實現(xiàn),成本低。但靈敏度也較低,用于對靈敏度要求不太高的場合。
2)拾光型光纖傳感器
用光纖作為探頭,接收由被測對象輻射的光或被其反射、散射的光。其典型例子如光纖激光多普勒速度計、輻射式光纖溫度傳感器等。
(2)根據(jù)光受被測對象的調(diào)制形式
形式:強度調(diào)制型、偏振調(diào)制、頻率調(diào)制、相位調(diào)制。
1)強度調(diào)制型光纖傳感器
是一種利用被測對象的變化引起敏感元件的折射率、吸收或反射等參數(shù)的變化,而導(dǎo)致光強度變化來實現(xiàn)敏感測量的傳感器。
有利用光纖的微彎損耗;各物質(zhì)的吸收特性;振動膜可液晶的反射光強度的變化;物質(zhì)因各種粒子射線或化學(xué)、機械的激勵而發(fā)光的現(xiàn)象;以及物質(zhì)的熒光輻射或光路的遮斷等來構(gòu)成壓力、振動、溫度、位移、氣體等各種強度調(diào)制型光纖傳感器。
優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、容易實現(xiàn),成本低。
缺點:受光源強度波動和連接器損耗變化等影響較大。
2)偏振調(diào)制光纖傳感器
是一種利用光偏振態(tài)變化來傳遞被測對象信息的傳感器。
有利用光在磁場中媒質(zhì)內(nèi)傳播的法拉弟效應(yīng)做成的電流、磁場傳感器;利用光在電場中的壓電晶體內(nèi)傳播的泡爾效應(yīng)做成的電場、電壓傳感器;利用物質(zhì)的光彈效應(yīng)構(gòu)成的壓力、振動或聲傳感器;以及利用光纖的雙折射性構(gòu)成溫度、壓力、振動等傳感器。
這類傳感器可以避免光源強度變化的影響,
因此靈敏度高。
1)頻率調(diào)制光纖傳感器
是一種利用單色光射到被測物體上反射回來的光的頻率發(fā)生變化來進行監(jiān)測的傳感器。
有利用運動物體反射光和散射光的多普勒效應(yīng)的光纖速度、流速、振動、壓力、加速度傳感器;利用物質(zhì)受強光照射時的喇曼散射構(gòu)成的測量氣體濃度或監(jiān)測大氣污染的氣體傳感器;以及利用光致發(fā)光的溫度傳感器等。
2)相位調(diào)制傳感器
其基本原理是利用被測對象敏感元件的作用,使敏感元件的折射率或傳播常數(shù)發(fā)生變化,而導(dǎo)致光的相位變化,使兩束單色光所產(chǎn)生的干涉系統(tǒng)發(fā)生變化,通過檢測干涉系統(tǒng)的變化量來確定光的相位變化量,從而得到被測對象的信息。
通常有利用光彈效應(yīng)的聲、壓力或振動傳感器;利用磁致伸縮效應(yīng)的電流、磁場傳感器;利用電致伸縮的電場、電壓傳感器以及利用光纖賽格納克(Sagnac)效應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角速度傳感器(光纖陀螺)等。這類傳感器的靈敏度很高。但由于須用特殊光纖及高精度檢測系統(tǒng),因此成本高。