一、超聲波清洗原理:超聲波清洗機原理主要是基于超聲頻振動在液體中產(chǎn)生的交變沖擊波和空化作用。在超聲清洗中,換能器將電源所提供的電能轉(zhuǎn)變?yōu)槌暀C械振動,并將此振動傳到清洗液中。當(dāng)液體中有聲波傳播時,會產(chǎn)生空化現(xiàn)象,空化核在周圍產(chǎn)生上千個大氣壓,破壞不溶性污物而使它門分散于清洗液中。蒸汽型空化對污層的直接反復(fù)沖擊,十方面破壞污物與清洗件表面的吸,另一方面也會引起污物層的破壞而脫離。氣體型氣泡的振動能對固體表面進行擦洗,污層旦有縫可鉆,氣泡還能“鉆入”裂縫中作振動,使污層脫落。由于超聲空化作用,兩種液體在界面迅速分散而乳化。當(dāng)固體粒子被油污裹著而黏附在清洗件表面時,油被乳化,固體粒子即聲流和輻射壓是大振幅波在煤質(zhì)中傳播時產(chǎn)生的非線性現(xiàn)象?？栈瘹馀菰谡袷庍^程中會液體媒質(zhì)本身產(chǎn)生一種環(huán)流,即所謂聲流,它可使動氣泡表面處存在很高的速度梯度和應(yīng)力,促使清洗件表面污物的破壞和脫落。由于超聲空化在固體和液體的界面上所產(chǎn)生的高速微射流能夠去除或削弱邊界污層,腐蝕固體表面,增加攪作用,加速可溶性污物的溶解,強化化學(xué)清洗劑的請洗作用,此外,超聲振動在清洗液中時起質(zhì)點很大的振動速度和加速度,亦使洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖走。上述作用機理可以理解為,當(dāng)超聲波清洗就中傳播時，會產(chǎn)生空化，輻射壓，聲流等物理效應(yīng)。物理效應(yīng)對污物有機械剝落作用,同時能促進清洗液與污物的化反應(yīng),其中空化效應(yīng)在產(chǎn)生超聲清洗過程起到主要的作用。

二、超聲波清洗機工作原理:超聲波清洗機原理：簡單的超聲波清洗機由超聲波發(fā)生器和清洗器(槽)兩大部分組成。高頻振蕩器產(chǎn)生超聲頻電流,傳給換能器(由繞有線圈的環(huán)狀鎳塊組成),超聲頻電流通過換能器線圈時產(chǎn)生電磁場,在電磁場作用下,換能器鎳環(huán)的直徑大小周期性的變化而發(fā)生振動,振動頻率約20千周。超聲波振動通過與換能器連接的液體容器底部而傳播到液體內(nèi),對產(chǎn)品進行清洗。

三、影響超聲波清洗機清洗效果的因素:一般來說,超聲效果與超聲的條件(如功率、頻率、溫度、壓力)及超聲時間有關(guān),與清洗液的選擇也有關(guān)。例如,在外延生長前對硅片采用洗液、硫酸和水的超聲清洗時,超聲功率高于250W時才能達到較好的清洗效果。

四、超聲波清洗機使用方法:不同型號的超聲波清洗儀,在使用上有不同的要求,應(yīng)按清洗機說明書的要求進行安裝使用,使用方法大概如下：

1.先將發(fā)生器和清洗槽連接好,接上電源。2.清洗槽內(nèi)倒入清水,約20—40毫米深。3.打開電源開關(guān),指示燈亮,預(yù)熱1—2分鐘后可開始工作(有的機器要先開低壓,預(yù)熱10分鐘后,再開高壓開關(guān))。4.旋轉(zhuǎn)功率調(diào)節(jié)旋鈕,使振動和氣泡大,此時指示電流表讀數(shù)也接近大。然后再調(diào)節(jié)功率,使清洗機進入正常工作。5.把盛有硅片和清洗液的燒杯放入清洗槽中,即可進行硅片的清洗。