表面粗糙度測量儀可測量平面、圓柱面、深槽和曲面的表面粗糙度、波紋度、原始輪廓和直線度參數(shù)，還可測量工件表面微觀輪廓的水平和垂直距離。
表面粗糙度測量儀主要技術(shù)指標(biāo)：
1、測量原理：垂直方向?yàn)橛|針法，電感傳感器；水平方向?yàn)橹本€光柵；
2、測量范圍：垂直400um（1200um），水平120mm；
3、Ra示值誤差：≤±5%;
4、最小分辨力：垂直0.6nm，水平1um；
5、取樣長度：0.08、0.25、0.8、2.5、8mm;
6、評(píng)定長度：N倍取樣長度，N=1，2，3，4，5;
7、數(shù)字濾波器：高斯、2RC、PC、二乘、不濾波;
8、粗糙度測量參數(shù)：Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rt,Rq,Rsm,Rsk,Rku,Rdq,Rmr；
波紋度測量參數(shù)：Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr；
原始輪廓測量參數(shù)：Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr；
直線度測量系統(tǒng)測量參數(shù)：│X2-X1│，│Z2-Z1│；
9、輪廓圖形的垂直放大倍率：1-500000可選，也可手動(dòng)輸入；
10、輪廓圖形的水平放大倍率：1-500000可選，也可手動(dòng)輸入；
11、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度：0.2、0.5、0.8、1.0mm/s;返回速度1.5mm/s；
驅(qū)動(dòng)箱滑行長度：120mm；
12、傳感器返回形式：手動(dòng)/自動(dòng)；
13、傳感器測針：金剛石圓錐，錐角90°，針尖半徑2μm;
14、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性：1um/100mm；
15、立柱結(jié)構(gòu)：快慢速機(jī)動(dòng)升降系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位;
16、立柱垂直測量高度：300mm;
17、工作底臺(tái)：460mm×720mm大理石平臺(tái)。
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