高效空氣過濾器本體在進入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能實驗檢測（如DOP測試等），并提供合格證(性能實驗結(jié)果)。對于5級(100級)以上潔凈室所使用的高效空氣過濾器，在現(xiàn)場應再次進行高效空氣過濾器本體的性能檢測，同時進行檢漏試驗以確認高效空氣過濾器是否正確安裝。在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中(如0.1um，1級)，由于新風量往往僅是循環(huán)風量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風側(cè)也變成6級(1000級)的成都。在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。
1、檢測要求
（1）一般采取粒子計數(shù)器法進行檢漏，被檢高效空氣過濾器必須已檢測過風量，并在設(shè)計風速的80%～120%進行。
（2）對于被檢高效空氣過濾器上風側(cè)的微粒濃度符合下列要求：
對受控微粒≥0.5um的濃度，必須大于等于3.5*104pc/L
對受控微粒≥0.1um的濃度，必須大于等于3.5*106～3.5*107pc/L
2、檢測方法
采用掃描法對高效空氣過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，監(jiān)測點應距被測表面20～30mm，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。粒子計數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。
3、檢測設(shè)備
（1）光散射粒子計數(shù)器
其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測量微粒粒徑大小。光散射粒子計數(shù)器一般由氣路系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。
（2）激光粒子計數(shù)器
其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計數(shù)器強100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測范圍達0.1μm。
（3）凝聚核粒子計數(shù)器
它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑粒子，進行微粒粒子濃度測定。工作原理為：采樣空氣中的微粒，經(jīng)過溫度為35℃的飽和管，然后在溫度為10℃的凝聚管內(nèi)由媒介液進行凝聚，直至增大到能夠檢測到散射光的粒徑為止，其他部分與一般光散射粒子計數(shù)器相同。
4、合格標準
GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定，由高效空氣過濾器下風側(cè)泄露濃度換算成的透過率來衡量是否合格，其合格標準如下：
對于高效空氣過濾器 K′=c2/c1*100%≤2K
對于超高效空氣過濾器 K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K為過濾器出廠時檢測合格的透過率；
K′為過濾器的泄露濃度換算成的透過率；
c1為過濾器上風側(cè)含塵濃度；
c2為過濾器下風側(cè)含塵濃度。
各類過濾器在設(shè)備前，不允許翻開包裝袋或包裝膜;并按包裝箱上標明的方向存放過濾器;在轉(zhuǎn)移過程中，應輕拿、輕放，避免劇烈的振蕩和磕碰。在運送、設(shè)備及運用過程中，要依照要求進行運用作用。各種過濾器在運用一段時間后，因濾料外表捕集了塵土，從而使過濾器的功率和阻力下降，影響了送風的潔凈度，此刻需求及時加以替換過濾器。 關(guān)于需用于高濕度、高溫度環(huán)境中的過濾器，有必要選取耐高溫、耐高濕度的濾紙。
各類過濾器在設(shè)備前，不允許翻開包裝袋或包裝膜;并按包裝箱上標明的方向存放過濾器;在轉(zhuǎn)移過程中，應輕拿、輕放，避免劇烈的振蕩和磕碰。在運送、設(shè)備及運用過程中，要依照要求進行運用作用。各種過濾器在運用一段時間后，因濾料外表捕集了塵土，從而使過濾器的功率和阻力下降，影響了送風的潔凈度，此刻需求及時加以替換過濾器。關(guān)于需用于高濕度、高溫度環(huán)境中的過濾器，有必要選取耐高溫、耐高濕度的濾紙與分隔板、框體資料，以滿意出產(chǎn)的要求。生物潔凈室和醫(yī)藥潔凈室，有必要選用金屬框體的過濾器，且其外表要不易生銹。不允許運用木框板的過濾器，以防發(fā)生細菌，影響產(chǎn)品的合格率。關(guān)于以上的過濾器，假定過濾器前后有壓差表或壓差傳感器，則對粗效過濾器，當壓差值大于250Pa時，有必要加以替換;對中效過濾器，則壓差大于330Pa時，有必要加以替換;關(guān)于亞過濾器，則當壓差值大于400Pa時，有必要加以替換，且原過濾器不行再利用;關(guān)于過濾器，當過濾器的阻力值大于450Pa時;或當出風面氣流速度降到低極限 ，即使替換粗效、中效過濾器后，氣流速度仍不能增大;或當過濾器外表出現(xiàn)無法修補的滲漏狀況，均須替換新的過濾器;如沒有上述條件，一般可根據(jù)運用環(huán)境條件狀況，1—2年替換一次。為了充分發(fā)揮過濾器的作用，在選用和運用過程中，過濾器的迎面風速，粗效、中效過濾器不該大于2.5m/s，亞過濾器和過濾器不該大于1.5m/s,這樣不只有利于過濾器的功率,也能延伸過濾器運用壽數(shù),節(jié)省本錢.在設(shè)備運行時,一般不要替換過濾器;如因過濾器已到替換期限而無法停機替換,則只允許在不斷風機狀況睛替換粗、中效過濾器;亞過濾器和過濾器有必要接連送風后，方可替換;過濾器與聯(lián)接結(jié)構(gòu)之間的密封墊，有必要緊密、無走漏，以起到過濾作用。
管式過濾器主要是用來去除液體中含有的少量顆粒狀物體的設(shè)備，可以用來保護壓縮機、泵、儀表和其它設(shè)備，使其正常的工作，并可以延長設(shè)備的使用壽命。
管式過濾器的性能特點介紹
1.高效，精確過濾：
特殊結(jié)構(gòu)的濾盤過濾技術(shù)，性能精確靈敏，確保只有粒徑小于要求的顆粒才能進入系統(tǒng)，是比較有效的過濾系統(tǒng)；
規(guī)格有5μ、10μ、20μ、55μ、100μ、130μ、200μ等多種，用戶可根據(jù)用水要求選擇不同精度的過濾盤。系統(tǒng)流量可根據(jù)需要靈活調(diào)節(jié)。
2.標準模塊化，節(jié)省占地:系統(tǒng)基于標準盤式過濾單元，按模塊化設(shè)計,用戶可按需取舍,靈活可變,互換性強。
系統(tǒng)緊湊，占地極小，可靈活利用邊角空間進行安裝，如處理水量300m3/h左右的設(shè)備占地僅約6m2(一般水質(zhì)，過濾等級100μ)。
3.全自動運行,連續(xù)出水：
在過濾器組合中的各單元之間，反洗過程輪流交替進行，工作、反洗狀態(tài)之間自動切換，可確保連續(xù)出水;反洗耗水量極少，只占出水量的0.5%；如配合空氣輔助反洗，自耗水更可降到0.2%以下。
高速而徹底的反洗，只需數(shù)十秒即可完成
4.壽命長：
新型塑料過濾元件堅固、無磨損、無腐蝕、極少結(jié)垢，經(jīng)多年工業(yè)實用驗證，使用6~10年也沒有磨損，不會老化，過濾和反洗效果不會因使用時間而變差。
5.高質(zhì)量，維護量少；
產(chǎn)品符合相應質(zhì)量標準，所有產(chǎn)品在出廠前均經(jīng)模擬工況檢測和試運轉(zhuǎn)，不需專用工具,零部件很少；易于使用,僅需定期檢查，幾乎不需日常維護。
過濾器主要分類
過濾器按獲得過濾推動力的方法不同，分為重力過濾器、真空過濾器和加壓過濾器三類。
重力
借助懸浮液的重力和位差在過濾介質(zhì)上形成的壓力作為過濾的推動力，一般為間歇操作，如砂器。
真空
在濾液出口處形成負壓作為過濾的推動力。工業(yè)真空過濾器操作真空的絕對壓力為(2.5～8.0)×105帕。
過濾時懸浮液的溫度應低于操作真空下濾液的汽化溫度。
這種過濾器又分為間歇操作和連續(xù)操作兩種。間歇操作的真空過濾機可過濾各種濃度的懸浮液。
加壓
它以在懸浮液進口處施加的壓力或?qū)裎锪鲜┘拥臋C械壓榨力作為過濾推動力，適用于要求過濾壓差較大的懸浮液，也分為間歇操作和連續(xù)操作兩種。
間歇操作的列管式壓濾器和加壓過濾器 用于低濃度懸浮液過濾。
常用的加壓過濾是利用濾室容積變小或施加機械壓榨力進行過濾，濾渣含濕量較低，適用于固體顆粒濃度高的懸浮液。
在帶式壓榨過濾器中，經(jīng)重力或真空初步脫液后的濕濾渣夾在兩條濾帶之間移動，再經(jīng)輥子擠壓脫液。
精密
精密過濾器是針對于過濾精度而言，一般介于砂濾(粗濾)與超濾之間。
在壓力的作用下，原水通過濾芯，雜質(zhì)截留在濾芯壁上，水透過濾芯流出，從而達到過濾的目的。
449717568
