多組分密度計(jì)的優(yōu)點(diǎn)如可維護(hù)性和高精度在線測量是相同的，但它是一個(gè)具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型電池型發(fā)射器的模型。
多組分密度計(jì)的特點(diǎn)
三個(gè)組件中的雙組分密度計(jì)側(cè)可以實(shí)時(shí)實(shí)現(xiàn)
標(biāo)準(zhǔn)配備模擬DC 4-20mA（2系統(tǒng)）和數(shù)字RS232C
標(biāo)準(zhǔn)配備測量誤差輸出和報(bào)警輸出
標(biāo)準(zhǔn)配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示
小巧輕便的蜂窩發(fā)射器可以直接安裝在線路上
采用PFA的液體接觸材料對(duì)液體化學(xué)品沒有影響，輸出設(shè)計(jì)小
使用
CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制
清洗過程中清洗液濃度的控制（HF + HNO3·HF + H2SiF6等）
蝕刻過程中的蝕刻劑濃度控制（TMAH +抗蝕劑·TMAH + Si等）
優(yōu)點(diǎn)
可以高精度地進(jìn)行連續(xù)測量
免維護(hù)，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)
安裝時(shí)的各種調(diào)整是不必要的，并且安裝容易
通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋處理
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