X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。
X熒光光譜儀的技術(shù)原理：
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長與元素的原子序數(shù)有關(guān)。
根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量。因此，只要測出熒光X射線的波長或者能量，就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外，熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。
近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得較多也廣泛，它已然成為這些領(lǐng)域的常用檢測設(shè)備了。
X射線熒光光譜儀被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域，也是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面儀器之一。
X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項： 1、X射線熒光分析儀從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進行標(biāo)定和校準(zhǔn)?！ ?、為保證有害元素含量的控制效果，X射線熒光分析儀的測量數(shù)據(jù)應(yīng)與其他的測量手段結(jié)合起來使用；X射線熒光分析儀更適合生產(chǎn)過程的監(jiān)控，甚至可以說：在生產(chǎn)過程中對有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前唯一可行的分析手段；而有害元素含量的最終裁定，則不應(yīng)該僅僅依靠單一的測量手段?！ ?、被測量樣品的處理與測量精度的關(guān)系： 從X射線熒光分析理論上說，對被測量樣品進行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結(jié)果越可靠。在實際使用過程中，我們應(yīng)該盡量對被測量樣品進行必要的物理處理?！ ≡跍y量不規(guī)則的樣品時，雖然從X射線熒光分析方法上可以對測量進行技術(shù)上的校正，從而滿足實際測量的需要；但這樣做所付出的代價是犧牲測量精度和測量數(shù)據(jù)的可靠性。
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