X射線熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。 X射線熒光光譜儀的優(yōu)點都有那些？ 1.分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。 2.X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定?！ ?.非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結果重現(xiàn)性好?！ ?.X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析?！ ?.X射線熒光光譜儀分析精密度高。 6.制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
光電直讀光譜儀的故障排除，應當是建立在對儀器原理和各模塊結構以及功能的充分了解的基礎上的。應當首先盡量了解各模塊功能，以至各模塊內部部件的功能。然后按照如下三條線索，把儀器的硬件在腦中串成網(wǎng)絡： 1、信號線路： 從激發(fā)臺上樣品發(fā)光開始，到電腦軟件中顯示出各元素含量為止，了解樣品發(fā)光的光信號在儀器中各部件的先后經(jīng)過和轉化的順序，以及每個部件的簡單功能?！ ?、控制線路：了解計算機中的命令對儀器當中各個受控部件的影響，以及命令的傳輸途徑，途徑中每個部件的作用。 3、供電網(wǎng)絡： 了解儀器當中所有用電部件所需的準確電壓、電流、功率等詳細參數(shù)、知道儀器用電從儀器總供電插座開始，各部件的用電如何產(chǎn)生、調節(jié)和傳輸。 在詳細了解以上情況后，一般情況下，在出現(xiàn)故障時，需首先在信號線路中，找到不能正常工作的模塊（每個模塊是否能正常工作均有檢查方法），然后檢查該模塊中的信號線路經(jīng)過部件本身是否狀態(tài)正常（損毀、位置偏移），受控部件的控制命令傳輸是否暢通，用電部件的供電是否正常來確定故障點，以至排除問題。 另外，還需要判定損壞部件是否可以自己修復或有備用件可替換，如果不能自行解決，需向制造商的售后服務進行求助。
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