X射線熒光光譜儀被廣泛用于冶金、地質、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領域，也是野外現場分析和過程控制分析等方面儀器之一。

　　X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項：　　1、X射線熒光分析儀從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進行標定和校準。　　2、為保證有害元素含量的控制效果，X射線熒光分析儀的測量數據應與其他的測量手段結合起來使用；X射線熒光分析儀更適合生產過程的監(jiān)控，甚至可以說：在生產過程中對有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前唯一可行的分析手段；而有害元素含量的最終裁定，則不應該僅僅依靠單一的測量手段。　　3、被測量樣品的處理與測量精度的關系：　　從X射線熒光分析理論上說，對被測量樣品進行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結果越可靠。在實際使用過程中，我們應該盡量對被測量樣品進行必要的物理處理?！　≡跍y量不規(guī)則的樣品時，雖然從X射線熒光分析方法上可以對測量進行技術上的校正，從而滿足實際測量的需要；但這樣做所付出的代價是犧牲測量精度和測量數據的可靠性。