X射線熒光分析技術(shù)（XRF）作為一種快速分析手段，為相關(guān)部門提供了一種可行的、低成本的并且及時(shí)的檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑。
相對(duì)于其他分析方法，XRF具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理，快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)部門作為過(guò)程控制和檢測(cè)使用。
X射線熒光光譜儀的維護(hù)保養(yǎng)：
1、X射線熒光光譜儀中最昂貴的部分是高壓X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對(duì)冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴(yán)格的要求，其較佳冷卻水溫為22℃～24℃，一般不能超過(guò)30℃，超過(guò)35℃則使用壽命會(huì)大大降低。
內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽(yáng)極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導(dǎo)率＜2μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致x射線光管損壞。
2、分光晶體是具有把X射線熒光按波長(zhǎng)順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。
3、探測(cè)器性能一般用波高分布曲線的半寬高來(lái)衡量，若半寬高增大則說(shuō)明分辨能力下降，檢測(cè)器品質(zhì)變壞。
4、真空系統(tǒng)是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對(duì)于真空泵，主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時(shí)如果有白色或黑色，就說(shuō)明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。
X射線熒光光譜儀屬于大型分析儀器，它主要由以下幾部分組成：
（1）X射線系統(tǒng)（X射線光管、高壓變壓器、管壓管流控制單元）；
（2）水循環(huán)冷卻系統(tǒng)（內(nèi)外部冷卻水單元、溫度、電導(dǎo)率控制監(jiān)測(cè)單元）；
（4）真空系統(tǒng)（真空泵、樣品室）；
（5）檢測(cè)系統(tǒng)（光譜室、分光晶體、衰減器、狹縫、測(cè)角儀、晶體交換器等）；
（6）檢測(cè)記錄系統(tǒng)（流〈充〉氣正比計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器、脈沖高度分析器等）；
（7）數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。
首先，我們必須注意的是X射線熒光光譜儀對(duì)周圍環(huán)境的要求較高，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)要保證恒溫、恒濕（22度左右、濕度60%以下），特別是在南方潮濕的天氣環(huán)境下，更要特別注意。
儀器實(shí)驗(yàn)室必須安裝空調(diào)設(shè)備，儀器的使用環(huán)境中，不能有酸霧存在，也就是說(shuō)，XRF儀器不要和化學(xué)實(shí)驗(yàn)室在同一個(gè)房間內(nèi)。因?yàn)閄光管和探測(cè)器都有用金屬鈹做的窗口，金屬鈹很容易被酸腐蝕。其次是實(shí)驗(yàn)室要環(huán)境清潔，保證電源穩(wěn)定，避免震動(dòng)。為了儀器正常運(yùn)轉(zhuǎn)，儀器還必須有獨(dú)立地線。
X射線熒光分析技術(shù)作為一種快速分析手段，為我國(guó)的相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時(shí)的，檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對(duì)于其他分析方法（例如：發(fā)射光譜、吸收光譜、分光光度計(jì)、色譜質(zhì)譜等），XRF具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理、快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)作為過(guò)程控制和檢測(cè)使用。
X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。
X射線熒光光譜儀的工作原理：
X射線是用高速電子轟擊原子的內(nèi)層電子，使之處于高激發(fā)狀態(tài)，同時(shí)外層的電子躍遷到缺少電子的內(nèi)層軌道。在此過(guò)程中會(huì)伴隨著以電磁波形式釋放的能量。這種釋放能量的電磁波能量大，波長(zhǎng)小，肉眼不可見，稱之為X射線。
X射線熒光的波長(zhǎng)是以受激物質(zhì)（待測(cè)物質(zhì)）的原子序數(shù)為特征的，原子序數(shù)越大的物質(zhì)波長(zhǎng)越短。各種不同的元素都有本身的特征X射線熒光波長(zhǎng)，這是用X射線熒光原理的X射線熒光光譜儀進(jìn)行定性分析的依據(jù);而元素受激發(fā)射出來(lái)的特征X射線熒光的強(qiáng)度則取決于該元素的含量，這是定量分析的依據(jù)。
X射線熒光光譜儀的主要組成部分是一次X射線源和樣品室、分光晶體和平行光管、檢測(cè)器和記錄顯示儀器。一次X射線源用X光管，它產(chǎn)生的一次X射線轟擊樣品表面，使樣品激發(fā)出二次X射線。二次X射線經(jīng)平行光管變成一束平行光以后，投射到與平行光束呈夾角θ的分光晶體晶面上。射線在分光晶體面上的反射角與平行光束的夾角為2θ。分光晶體在分析過(guò)程中是回轉(zhuǎn)的，即θ是連續(xù)變化的，θ的變化會(huì)使反射光的波長(zhǎng)隨之變化，故2θ的具體值是定性分析的依據(jù)。這種變化波長(zhǎng)的反射線投射到與分光晶體聯(lián)動(dòng)的檢測(cè)器上，檢測(cè)器便輸出一個(gè)與平面分光晶體反射線強(qiáng)度成比例的信號(hào)，它是定量分析的依據(jù)。記錄顯示儀表的記錄紙移動(dòng)的距離與2θ有關(guān)，所以記錄下來(lái)的曲線就是熒光光譜圖，其橫坐標(biāo)是波長(zhǎng)，縱坐標(biāo)是光強(qiáng)。分析光譜圖就可以得到定性分析和定量分析結(jié)果。
X射線熒光光譜儀被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域，也是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過(guò)程控制分析等方面儀器之一。
X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項(xiàng)：
1、X射線熒光分析儀從根本上來(lái)說(shuō)是一種相對(duì)測(cè)量?jī)x器，因此在使用過(guò)程中，需要定期對(duì)儀器進(jìn)行標(biāo)定和校準(zhǔn)。
2、為保證有害元素含量的控制效果，X射線熒光分析儀的測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)與其他的測(cè)量手段結(jié)合起來(lái)使用；X射線熒光分析儀更適合生產(chǎn)過(guò)程的監(jiān)控，甚至可以說(shuō)：在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前唯一可行的分析手段；而有害元素含量的最終裁定，則不應(yīng)該僅僅依靠單一的測(cè)量手段。
3、被測(cè)量樣品的處理與測(cè)量精度的關(guān)系：
從X射線熒光分析理論上說(shuō)，對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行必要的處理是必須的；一般來(lái)說(shuō)，樣品處理的越好，則測(cè)量精度就會(huì)越高，測(cè)量結(jié)果越可靠。在實(shí)際使用過(guò)程中，我們應(yīng)該盡量對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行必要的物理處理。
在測(cè)量不規(guī)則的樣品時(shí)，雖然從X射線熒光分析方法上可以對(duì)測(cè)量進(jìn)行技術(shù)上的校正，從而滿足實(shí)際測(cè)量的需要；但這樣做所付出的代價(jià)是犧牲測(cè)量精度和測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。
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