X射線光電子能譜儀是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內(nèi)層電子或價(jià)電子受激發(fā)射出來(lái)。被光子激發(fā)出來(lái)的電子稱為光電子，可以測(cè)量光電子的能量，以光電子的動(dòng)能為橫坐標(biāo)，相對(duì)強(qiáng)度(脈沖/s)為縱坐標(biāo)可做出光電子能譜圖，從而獲得待測(cè)物組成。

能譜儀的使用范圍

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無(wú)機(jī)或有機(jī)固體材料分析;

2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定;

3、可對(duì)固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測(cè);

4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領(lǐng)域;

5、進(jìn)行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點(diǎn)分布分析。

能譜儀的優(yōu)點(diǎn)

分析速度快

能譜儀可以同時(shí)接受和檢測(cè)所有不同能量的X射線光子信號(hào)，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測(cè)器可探測(cè)的元素范圍為11Na~92U，20世紀(jì)80年代推向市場(chǎng)的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素,探測(cè)元素的范圍為4Be~92U。

靈敏度高

X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si(Li)探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方(10㎝左右)，無(wú)需經(jīng)過(guò)晶體衍射，信號(hào)強(qiáng)度幾乎沒(méi)有損失，所以靈敏度高(可達(dá)104cps/nA，入射電子束單位強(qiáng)度所產(chǎn)生的X射線計(jì)數(shù)率)。

此外，能譜儀可在低入射電子束流(10-11A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。

譜線重復(fù)性好

由于能譜儀沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件，穩(wěn)定性好，且沒(méi)有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問(wèn)題，適合于比較粗糙表面的分析工作。

能譜儀的性能指標(biāo)

固體角：決定了信號(hào)量的大小，該角度越大越好

檢出角：理論上該角度越大越好

探頭：新型硅漂移探測(cè)器(SDD)逐步取代鋰硅Si(Li)探測(cè)器

能量分辨力：最高級(jí)別的能譜儀分辨力可達(dá)121eV

探測(cè)元素范圍：Be4～U92

能譜儀使用注意事項(xiàng)

a) 樣品分析面確保不受污染，可使用異丙醇，丙酮，正己烷，或三氯甲烷溶液(均為分析純)清洗以達(dá)到清潔要求;

b) 使用玻璃制品(如表面皿、稱量瓶等)或者鋁箔盛放樣品，禁止直接使用塑料容器、塑料袋或紙袋，以免硅樹(shù)脂或纖維污染樣品表面;

c) 制備或處理樣品時(shí)使用聚乙烯手套，禁止使用塑料手套和工具以免硅樹(shù)脂污染樣品表面。

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